奈 米 鍍膜原理
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發布時間: 2020年9月24日[PPT] 缺點: 1.沉積速率慢2017年10月19日 · ALD原理. 2.CVD原理. 3.ALD與CVD比較. 4.PEALD. 5.廠商資訊. 2. 3 ... Layer Deposition為原子層沉積技術,能夠在每個週期內精確地沉積一個原子層,所以能夠在奈米尺度上對沉積工藝進行完全控制。
... 須在高溫度下進行,有些基材不能承受,甚至和鍍膜起作用。
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